Transportroboter
Förder- und Handhabungstechnik

Transportroboter

Ein Transportroboter in der Halbleiterfertigung muss vor der Übergabe aufwendig konfiguriert und abgenommen werden. Ein digitales Serviceportal bündelt Checklisten, Software-Stände und die Anlagenhistorie und verkürzt so die Inbetriebnahme.

Transportroboter auf einen Blick

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  • Fabmatics GmbH

Verifizierte Projekte mit Transportroboter

Transportroboter mit IoT: schneller in Betrieb nehmen

Im Lösungsbeispiel ist das die webbasierte Servicelösung EquipmentCloud von Kontron AIS. Servicetechniker, Entwicklungs- und Applikationsingenieure greifen über mobile Endgeräte darauf zu. Die Workflows-App führt Arbeitsabläufe als modulares Taskboard mit Checklisten, etwa für die präzise Kalibrierung der Kameras. Eine kundenspezifische Versionsverwaltung sorgt dafür, dass jede Maschine genau die Updates und Patches erhält, die für ihren Gerätetyp freigegeben sind. Dashboards mit dynamischen Widgets zeigen den Projektstand.

Das Beispiel stammt aus der Automatisierung, Use Case ist die Wissenssicherung. Fabmatics baut autonome und schienengeführte Transportroboter sowie Handlingsysteme für Reinräume der Halbleiterindustrie und organisierte Inbetriebnahmen bisher mit Excel-Tabellen. Mit der EquipmentCloud senkte das Unternehmen den Zeitaufwand für die Inbetriebnahme um 50 Prozent und steigerte die Prozessgeschwindigkeit um 30 Prozent. Beim Factory Acceptance Test muss jeder Transportroboter 72 Stunden störungsfrei laufen. Früher waren dafür teils mehrere Anläufe nötig, heute im Durchschnitt nur noch einer.

Häufige Fragen zum Transportroboter

Wie dokumentiert man die Inbetriebnahme von Transportrobotern effizient?

Mit einem digitalen Serviceportal, das Abläufe, Checklisten und Dokumentation an einer Stelle bündelt. Fabmatics nutzt dafür die EquipmentCloud von Kontron AIS statt Excel-Tabellen. Rotierende Teams sehen jederzeit den Arbeitsfortschritt und können unterbrochene Aufgaben später fortsetzen. Ergebnis im Lösungsbeispiel: 50 Prozent weniger Zeitaufwand für die Inbetriebnahme und 30 Prozent höhere Prozessgeschwindigkeit.

Wie läuft die Abnahme eines Transportroboters ab?

Bei Fabmatics gilt der Factory Acceptance Test erst als bestanden, wenn der Transportroboter 72 Stunden störungsfrei läuft. Tritt ein Fehler auf, beginnt der Test nach der Korrektur von vorn. Seit die Inbetriebnahme über die EquipmentCloud dokumentiert und mit Checklisten geführt wird, ist im Durchschnitt nur noch ein Abnahmetest nötig. Vorher brauchte es teils mehrere Anläufe.

Warum setzt die Halbleiterindustrie Transportroboter im Reinraum ein?

Weil in Reinräumen nur so viele Menschen arbeiten sollen wie unbedingt nötig. Weniger Personal senkt die Partikelbelastung und verbessert die Fertigungsqualität von Wafern und Chips. Deshalb nutzt die Branche Handlingsysteme sowie autonome oder schienengeführte Transportroboter. Fabmatics konfiguriert diese Systeme in enger Abstimmung mit dem Kunden, damit sie genau zu dessen Prozessen passen.

Wie bekommen Transportroboter die richtigen Software-Updates?

Über eine kundenspezifische Versionsverwaltung im Serviceportal. In der EquipmentCloud von Kontron AIS erhält jede Maschine von Fabmatics genau die Updates und Patches, die für ihren Gerätetyp freigegeben sind. Zusammen mit der Anlagenhistorie, die während der Inbetriebnahme entsteht, erleichtert das später die Bearbeitung von Servicefällen. Die Teams haben so jederzeit eine vollständige Dokumentation.

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